可溶性テンポラリー固定材料 |
超薄型ウェハー(ガラス)のグラインディング、プレーティング(スプラッシュメッキや蒸着)、ダイシング、搬送等一時的な固定用。
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熱剥離型テンポラリー固定材料 |
超薄型ウェハー(ガラス)のグラインディング、プレーティング(スプラッシュメッキや蒸着)、ダイシング、搬送等一時的な固定用。
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インテリジェンス温変材料 |
超薄型ウェハー(ガラス)のグラインディング、ダイシング、一般及び大量搬送等一時的な固定用。 |
発泡型剥離タイプ |
超薄型ウェハー(ガラス)のグラインディング、プレーティング(スプラッシュメッキや蒸着)、ダイシング、搬送等一時的な固定用。
薄型ウェハーの剥離時、内部応力によるチップダメージを抑制し
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耐高温剥離性仮固定材 |
超薄型ウェハー(ガラス)のグラインディング、プレーティング(ス プラッシュメッキや蒸着)、ダイシング、搬送等⼀時的な固定⽤。 SIC薄型ウェハーの剥離時、内部応⼒によるチップダメージを 抑制し、⽣産歩留まりが低下しない。 剥離後に糊残りがなく、プロセスに応じて剥離条件を設定可能。 |